Züchtung von Silizium-Einkristallen mit 300 mm Durchmesser
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Published:1999
Issue:1
Volume:11
Page:31-36
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ISSN:0947-076X
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Container-title:Vakuum in Forschung und Praxis
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language:de
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Short-container-title:Vakuum in Forschung und Praxis
Author:
Altekrüger Burkhard,Gier Martin
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics
Cited by
1 articles.
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1. Siliziumwafer – Basis der Chips;Handbuch energiesparende Halbleiterbauelemente – Hochintegrierte Chips;2023