Detector system for backscattered electrons by conversion to secondary electrons

Author:

Reimer L.,Volbert B.

Publisher

Wiley

Subject

Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference18 articles.

1. A high contrast directional detector for the scanning electron microscope;Banbury;J Phys E,1969

2. Der Informationsgehalt des Rückstreubildes im Rasterelektronenmikroskop;Blaschke;BEDO,1974

3. Rückstreukoeffizient und Sekundärelektronenausbeute von 10-100 keV Elektronen und Beziehungen zur Raster-Elektronenmikroskopie;Drescher;Z angew Phys,1970

4. Moll S H Healey F Sullivan B Johnson W A high efficiency, non-directional backscattered electron detection mode for SEM Scanning Electron Microscopy 1978/I SEM Inc AMF O'Hare 303 31

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