Kathodenzerstäubungsprobleme. (III. Mitteilung) Zur Theorie der Kathodenzerstäubung

Author:

Hippel Artur V.

Publisher

Wiley

Subject

General Physics and Astronomy

Reference40 articles.

1. überträgt weitergehend direkt die Gesetze des elastischen Stoßes auf den Zusammenprall zwischen Kation und Metallgitter-Atom. Da das Ion normalerweise nicht frei reflektiert wird und dann seine ganze Energie an die Kathode abgibt, dürfte dies Verfahren zu vereinfacht sein.

2. �ber die Ausl�sung von Sekund�rstrahlen beim Durchgang von Kanalstrahlen durch feste K�rper

3. In einer eben erschienenen Arbeit von (29) wird die durch (30a) geforderte Beziehung zum Gasdruck und Plattenabstand ebenfalls empirisch gefunden. Seine danach aufgestellte Formel für den Gewichtsverlust der Kathode: Q = C.K/d.p steht mit ihrer linearen Beziehung zwischen Q und dem Kathodenfall K im Gegensatz zu den Messungen von (12) und zu dieser Theorie, die auf einen sehr viel komplizierteren Zusammenhang [vgl. Gleichung (19)] hinweisen.

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1. Plasma–Material Interactions in Magnetic Fusion Devices;Springer Series in Plasma Science and Technology;2020

2. Thin Films;Springer Handbook of Electronic and Photonic Materials;2017

3. Computer Simulation;Handbook of Sputtering Technology;2012

4. Thin Films;Springer Handbook of Electronic and Photonic Materials;2006

5. A miniature planar magnetron glow discharge source for analysis of submicroliter volume aqueous samples using atomic emission spectroscopy;Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy;1996-03

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