Zuverlässige Prozesse durch Vakuumkomponenten mit definierten Ausgasraten-Reference-Cited by-同舟云学术

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Zuverlässige Prozesse durch Vakuumkomponenten mit definierten Ausgasraten

Published:2018-08 Issue:4 Volume:30 Page:15-19
ISSN:0947-076X
Container-title:Vakuum in Forschung und Praxis
language:de
Short-container-title:Vakuum in Forschung und Praxis

Author:

Worsch Christian¹,Flämmich Michael,Bergner Ute

Affiliation:

1. VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH In den Brückenäckern 3; 07751 Großlöbichau

Publisher

Wiley

Subject

Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics

Link

http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1002/vipr.201800691/fullpdf

Reference11 articles.

1. CERN https://cds.cern.ch/record/1047073/files/p321.pdf

2. ESA http://esmat.esa.int/ecss-q-70-71a.pdf

3. DESY https://mhf-e-wiki.desy.de/images/c/c6/Vakuum_005_DESY_UHV_Richtlinien_1-5_final_stamp_eng.pdf

4. Reinigung von Vakuumbauteilen für UHV- und UCV-Anwendungen

5. https://www.treams-gmbh.de/produkte/argat/index.html

Cited by 3 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Die optische Atomuhr geht in die Anwendung;Vakuum in Forschung und Praxis;2019-12

2. Stabile Vakuumprozesse mit Dreh‐/Schiebedurchführungen;Vakuum in Forschung und Praxis;2019-10

3. Optische Schnittstellen;Vakuum in Forschung und Praxis;2019-05

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