1. Institute of Semiconductor Technology (IHT), Technische Universität Braunschweig; Hans-Sommer-Straße 66, D-38106 Braunschweig Germany
2. Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA); Technische Universität Braunschweig; Langer Kamp 6, D-38106 Braunschweig Germany
3. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB); Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig Germany
4. Research Center for Physics, Indonesian Institute of Sciences (LIPI); Kawasan Puspitek Serpong, 15314 Tangerang Selatan Indonesia