1. Institute of Ion Beam Physics and Materials Research Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf Bautzner Landstraße 400 01328 Dresden Germany
2. Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH 14109 Berlin Germany
3. Ferdinand-Braun Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik 12489 Berlin Germany
4. Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik Leibniz-Institut im Forschungsverbund Berlin e.V. 12489 Berlin Germany
5. Department of Applied Physics Aalto University P.O. Box 11100 FI-00076 Aalto Finland