Метод определения дисперсионных свойств микроволноводов, изготовленных по технологии кремний-на-изоляторе-Reference-Cited by-同舟云学术

Метод определения дисперсионных свойств микроволноводов, изготовленных по технологии кремний-на-изоляторе

Published:2022-05-24 Issue: Volume: Page:
ISSN:
Container-title:
language:
Short-container-title:

Author:

Ершов Александр¹,Еремеев Андрей¹,Ряйккенен Даниил¹,Никитин Андрей¹^ORCID,Устинов Алексей¹^ORCID

Affiliation:

1. Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Abstract

В работе проведено исследование оптических интегральных схем, изготовленных по технологии кремний-на-изоляторе. Исследованы прямой волновод, волноводный ответвитель, микрокольцевой резонатор длиной 201,06 мкм и интерферометр Маха-Цендера с оптической разностью хода 312,9 мкм. Предложен метод определения дисперсионных свойств оптических микроволноводов из экспериментальных передаточных характеристик устройств на их основе, также в работе экспериментально определены коэффициент связи по мощности, декремент затухания. Полученные свойства использованы для моделирования передаточных характеристик микрокольцевого резонатора и интерферометра Маха-Цендера. Результаты моделирования с высокой точностью совпадают с экспериментальными данными, что подтверждает применимость предложенного метода.

Publisher

NPG Publishing

Reference18 articles.

1. Vivien L., Pavesi L. Handbook of silicon photonics. – Taylor & Francis, 2016.

2. Bogaerts W., Chrostowski L. Silicon photonics circuit design: methods, tools and challenges // Laser & Photonics Reviews. – 2018. – V. 12. – №. 4. – P. 1700237.

3. Selvaraja S. et al. Si photonic device uniformity improvement using wafer-scale location specific processing // IEEE Photonics Conference 2012. – IEEE, 2012. – P. 725-726.

4. Marpaung D., Yao J., Capmany J. Integrated microwave photonics // Nature photonics. – 2019. – V. 13. – №. 2. – P. 80-90.

5. Verheyen P. et al. Co-integration of Ge detectors and Si modulators in an advanced Si photonics platform // Silicon Photonics and Photonic Integrated Circuits III. – International Society for Optics and Photonics, 2012. – V. 8431. – P. 843114.