Affiliation:
1. Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ”
2. спбгэту
Abstract
Было проведено экспериментальное исследование структурных и электрофизических свойств многокомпонентных пленок твердых растворов титаната-цирконата и титаната-станната бария на диэлектрических подложках. Показано, что при использовании отжига на подложке формируются пленки с компонентным составом, близким составу распыляемых мишеней. Определены оптимальные температуры осаждения и отжига тонких пленок для получения наилучших электрофизических параметров.