Review on the electrodeposition and properties of high-density chip interconnection

Author:

Wu Yunwen,Hang Tao,Ling Huiqin,Hu Anmin,Li Ming

Publisher

Science China Press., Co. Ltd.

Subject

Materials Chemistry,General Chemical Engineering,Biochemistry,General Chemistry

Reference67 articles.

1. 张钰梅. 硅通孔铜互连电镀添加剂的作用机理及评价方. 博士学位论文. 上海交通大学, 2020.

2. 李琦. 甲基磺酸铜体系应用于TSV电镀填孔的研究. 硕士学位论文. 上海交通大学, 2010.

3. 卢跃. 铜互连镀铜添加剂的电化学机理研究. 硕士学位论文. 上海交通大学, 2013.

4. 曹海勇. 垂直铜互连电镀成形机制研究. 硕士学位论文. 上海交通大学, 2015.

5. 张昭阳. 整平剂及热处理对芯片大马士革铜镀层电性能的影响机理研究. 硕士学位论文. 上海交通大学, 2020.

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