Abstract
Создание материалов, представляющее собой черные покрытия, работающие в ближнем и среднем ИК-диапазонах, является актуальной задачей. Слои таких материалов могут использоваться для улучшения эффективности ИК-излучателей. Одним из перспективных материалов, хорошо согласующимся с МЭМС технологией, является покрытие из черного оксида алюминия. В данной работе представлены результаты формирования слоя черного оксида алюминия методом вакуум-термического испарения, и исследования его поглощающих свойств в ИК-области спектра. Экспериментальные образцы слоев черного оксида алюминия продемонстрировали поглощение в диапазоне от 2,2 до 28 мкм на уровне 84% и показали высокую температурную стабильность до 800 °C.
Subject
Industrial and Manufacturing Engineering,Instrumentation,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials