Abstract
Отработана технология напыления кремния, удалось получить прочную поликристаллическую пленку кремния, обладающую хорошей адгезией на подложке ПЭТ толщиной 150…200 нм. С помощью данной технологии был изготовлен опытный образец гибкой переменной емкости. Исследование изменения емкости от изменения воздействующего на него давления имеет линейный вид, что позволяет открывает возможность использования данной технологии для изготовления датчика давления.