СОЗДАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ И ОРГАНИЗАЦИЯ ИХ СЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА-Reference-Cited by-同舟云学术

СОЗДАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ И ОРГАНИЗАЦИЯ ИХ СЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА

Published:2024-08-01 Issue:5 Volume:17 Page:282-290
ISSN:2687-0282
Container-title:Nanoindustry Russia
language:
Short-container-title:NanoRus

Author:

Жукова С.А.^ORCID,Обижаев Д.Ю.^ORCID,Ульянов С.А.^ORCID,Зиновьев М.А.^ORCID,Рискин Д.Д.^ORCID,Суздальцев С.Ю.^ORCID,Фролов Е.Н.^ORCID,Ганцева Ю.А.^ORCID

Abstract

В ФГУП "ЦНИИХМ" создана линейка микромеханических датчиков линейных ускорений. В состав линейки входят датчики трех исполнений ММА-2, ММА-10 и ММА-30 с диапазонами преобразования ±20 м/с2, ±100 м/с2 и ±300 м/с2 соответственно. Датчики предназначены для использования в составе систем ориентации, стабилизации и навигации в составе различных изделий. Проведен полный комплекс испытаний, подтверждающий заявленные технические характеристики и стойкость к внешним воздействиям, а также утверждена рабочая конструкторская документация для организации серийного производства. Возможный объем производства датчиков составляет несколько тысяч штук в год.

Publisher

Technosphera JSC

Reference8 articles.

1. US5006487A. Method of making an electrostatic silicon accelerometer. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. (US). H01L 21/302. 09.04.1991.

2. US5551294A. Micromachined measuring cell with arm supported sensor. CSEM-Centre Suisse D’Electronique et de Microtechnique, Neuchatel (Switzerland). H01L 21/00. 27.01.1995.

3. US5352918A Capacitive micro-sensor with a low stray capacity and manufacturing method. Sextant Avionique, Cedex, (France). H01L 29/84 H01L 29/96. 04.10.1994. 16.02.1993.

4. EP0937985B1 A method of producing an acceleration sensor. Panasonic Holdings Corp. (JP) G01P 15/12. G01P 15/125. G01P 15/08. G01P 15/09. H01L 29/84. 07.09.1998.

5. Marjoux D., Ullah P., Frantz-Rodriguez N., Morgado-Orsini P.F., Soursou M., Brisson R., Lenoir Y., Delhaye F. Silicon MEMS by Safran-Navigation grade accelerometer ready for mass production. In Proceedings of the 2020 DGON Inertial Sensors and Systems (ISS), Braunschweig, Germany, 15–16 September 2020.