ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ-Reference-Cited by-同舟云学术

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Published:2023-08-31 Issue:5 Volume:16 Page:256-264
ISSN:2687-0282
Container-title:Nanoindustry Russia
language:
Short-container-title:NanoRus

Author:

Арефьев А.И.^ORCID,Горнов В.Н.^ORCID,Пешкичева Л.Е.^ORCID,Юрченко О.С.^ORCID,Гусс Л.Е.^ORCID,Савельев А.В.^ORCID,Котов А.П.^ORCID

Abstract

В статье представлены результаты отработки технологии изготовления многослойных тонкопленочных лазерных мишеней. Приведены результаты исследования как исходных материалов, использованных для изготовления мишеней, так и полученных образцов тонких пленок.

Publisher

Technosphera JSC

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering,Environmental Engineering

Reference6 articles.

1. Потапов А.В., Лобода Е.А., Политов В.Ю. и др. // Физика плазмы. 2007. Т. 33, № 3.

2. Политов В.Ю. Моделирование распространения тепловой волны в мишени в условиях облучения высокоинтенсивным р-поляризованным лазерным излучением // Квантовая электроника. 2013. Т. 43, № 5.

3. London R.A., Castor J.I. Design of short pulse laser driven opacity experiments // High Energy Density Physics. 2013. Vol. 9. PP. 725–730.

4. Майсела Л., Глэнга Р. Технология тонких пленок. М., 1977.

5. Шугуров А.Р., Панин А.В. Механизмы возникновения напряжений в тонких плен-