Abstract
Разработана двухступенчатая система нанопозиционирования по трем координатам X, Y
и Z с точностью до 0,1 нм. Система нанопозиционирования предназначена для использования в сканирующей зондовой микроскопии, оптической микроскопии сверхвысокого разрешения и микролинзовой микроскопии. В статье рассмотрен пример построения сканирующего капиллярного микроскопа на основе разработанной системы прецизионных перемещений.
Subject
Industrial and Manufacturing Engineering,Environmental Engineering