Abstract
Дано описание платформы, содержащей демпферы на основе магнитореологического (МР) эластомера для активной виброизоляции нанотехнологического оборудования. Представлены результаты экспериментальных исследований активного демпфера и определены коэффициенты передачи амплитуды виброперемещений в низкочастотном диапазоне.
Subject
Industrial and Manufacturing Engineering,Materials Science (miscellaneous),Business and International Management
Reference16 articles.
1. Wigglesworth W., Jordan S. Semicond. Int., 2009, 32, 10, pp. 4–26.
2. Würzburg B.H., Grossenlupnitz R.R. US Patent No. 20080318045 A1. Appl. No. 11/574397, 25.08.2005, Date of Patent 27.08.2004.
3. Gruzevich Yu.K., Soldatenkov V.A., Achil’diev V.M., Levkovich A.D., Bedro A.N., Komarova M.N., Voronin I.V. Journal of Optical Technology. 2018. Vol. 85, Issue 5, PP. 308–313. https://doi.org/10.1364/JOT.85.000308
4. Электронный источник: Active Vibration Isolation. Accurion. http://www.accurion.com.
5. Ovchinnikov I., Brancevich P. 2017. Procedia Engineering. 176, PP. 610–617. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2017.02.304
Cited by
1 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献