1. 1) S. Chou, P. Krauss and P. Renstrom : Appl. Phys. Lett. 67, 3114 (1995).
2. 2) Y. Takabayashi, T. Iwanaga, M. Hiura, H. Morohoshi, T. Hayashi, T. Komaki, O. Morimoto, K. Sakai, W. Zhang, A. Cheral, S. Im, M. Meissl and J. Choi : 4th IEEE Electron Devices Technol. & Manufacturing Conf. 1B-1 (Penang, 2020).
3. 3) https://www.scopus.com/
4. 4) https://patents.google.com/
5. 5) J. Haisma, M. Verheijen, K. Heuvel and J. Berg : J. Vac. Sci. Technol., B 14, 4124 (1996).