Characterization of Small Vacuum Process Vessels Made of 0.2% Be-Cu Material
Author:
Affiliation:
1. Institude of Industrial Science, The University of Tokyo
2. Tokyo Electronics Co. LTD.
3. Seinan Industry Co.LTD.
Publisher
Surface Science Society Japan
Subject
General Medicine
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/66/1/66_20180999/_pdf
Reference4 articles.
1. 1) 渡辺文夫 : J. Vac. Soc. Jpn. 56, 230 (2013). (in Japanese)
2. 2) https://toel.co.jp
3. 3) 原 史郎 : 電子情報通信学会誌 961, 649 (2013).
4. 4) 石橋啓次 : J. Vac. Soc. Jpn. 50, 9 (2007). (in Japanese)
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