Mass Production Technology of PbZrTiO<sub>3</sub> by Sputtering Method for Piezoelectric MEMS Devices-Reference-Cited by-同舟云学术

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Mass Production Technology of PbZrTiO₃ by Sputtering Method for Piezoelectric MEMS Devices

Published:2020-07-10 Issue:7 Volume:63 Page:364-367
ISSN:2433-5835
Container-title:Vacuum and Surface Science
language:en
Short-container-title:Vac. Surf. Sci.

Author:

KOBAYASHI Hiroki¹,MATSUOKA Kouhei¹,TSUYUKI Tatsurou¹,KIMURA Isao¹,JIMBO Takehito¹

Affiliation:

1. ULVAC Inc.

Publisher

Surface Science Society Japan

Link

https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/63/7/63_20180577/_pdf

Reference5 articles.

1. 2) K. Suu : 4th international workshop on Piezoelectric MEMS, Kobe (2014) I-1.

2. 3) S. Fujii, I. Kanno, T. Kanda and R. Takayama : Jpn. J. Appl. Phys. 36, 6065 (1997).

3. 4) I. Kanno, H. Kotera and K. Wasa : Sens. Actuators. A, 107, 68 (2003).

4. 5) S. Hiboux, P. Muralt and N. Setter : MRS Proc. 596, 499 (1999).

5. 6) K. Suu : 10th International Conference on Materials for Advanced Technologies, Singapore (2019).

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