High Reliable Quantification Analysis of Impurities in high-k Gate Dielectrics by SIMS
Author:
Affiliation:
1. Toray Research Center, Inc., Surface Science Laboratories
Publisher
Surface Science Society Japan
Subject
General Earth and Planetary Sciences,General Engineering,General Environmental Science
Link
http://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/28/11/28_11_638/_pdf
Reference2 articles.
1. 1) 赤堀誠至, 宮本隆志, 関 洋文, 泉由貴子, 山元隆志, 長谷川剛啓: 2004年(平成16年) 秋季第65回応用物理学関係連合講演会 (2004) p. 683.
2. 2) T. Yamamoto, N. Morita, N. Sugiyama, A. Karen and K. Okuno : Appl. Surf. Sci. 203/204, 516 (2003).
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