1. 1) J. Itoh, Y. Tohma, K. Morikawa, S. Kanemaru and K. Shimizu : J. Vac. Sci. Technol., B 13, 1968 (1995).
2. 2) A. Hosono, S. Kawabuchi, S. Horibata, S. Okuda, H. Harada and M. Takai : J. Vac. Sci. Technol., B 17, 575 (1999).
3. 3) L. Dvorson and A.I. Akinwande : J. Vac. Sci. Technol., B 20, 53 (2002).
4. 4) T. Soda, M. Nagao, C. Yasumuro, S. Kanemaru, T. Sakai, N. Saito, Y. Neo, T. Aoki and H. Mimura : Jpn. J. Appl. Phys. 47, 5252 (2008).
5. 5) Y. Neo, M. Takeda, T. Soda, M. Nagao, T. Yoshida, S. Kanemaru, T. Sakai, K. Hagiwara, N. Saito, T. Aoki and H. Mimura : J. Vac. Sci. Technol., B 27, 701 (2009).