Linear Relationship between Reactive Gas Flow Rate and Target Power at Mode Transitions in Reactive Sputtering
Author:
Affiliation:
1. Department of Science and Technology, Seikei University
2. National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
Publisher
Surface Science Society Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ejssnt/22/3/22_2024-013/_pdf
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