Precise Deposition and Application of Diamond-like Carbon by Photo-excited Plasma
Author:
Affiliation:
1. Department of Creative Engineering, National Institute of Technology, Ariake College
2. Micro System Integration Center, Tohoku University
Publisher
Surface Science Society Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/vss/67/2/67_20181211/_pdf
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