Surface Cleaning for Metals using Atomic Hydrogen Generated by Heated Catalyzer
Author:
Affiliation:
1. Kyushu Institute of Technology
Publisher
Surface Science Society Japan
Subject
General Earth and Planetary Sciences,General Engineering,General Environmental Science
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/31/4/31_4_196/_pdf
Reference22 articles.
1. 1) H. Matsumura and K. Ohdaira: Thin Solid Films 517, 3240 (2008).
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5. 5) K. Hashimoto, A. Masuda, H. Matsumura, T. Ishibashi and K. Takao: Thin Solid Films 501, 326 (2006).
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