Thermal Desorption Studies of Ar+Implanted Silicon
Author:
Affiliation:
1. Institute of Physics, Maria Curie-Skłodowska University, Lublin, Poland
2. National Centre for Nuclear Studies, Świerk-Otwock, Poland
3. Laboratory of Nuclear Problems, JINR Dubna, Russia
Publisher
Institute of Physics, Polish Academy of Sciences
Subject
General Physics and Astronomy
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1. Thermal Desorption of Kr Implanted into Germanium;Acta Physica Polonica A;2022-12
2. Thermal Desorption of Argon Implanted into Gallium Arsenide;Advances in Science and Technology Research Journal;2022-10-01
3. Termodesorpcja argonu implantowanego do germanu;PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY;2020-07-29
4. Thermal Desorption of He Implanted into Ge;Acta Physica Polonica A;2019-08
5. Termodesorpcja ksenonu implantowanego do krzemu;PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY;2018-07-05
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