Analysis and Optomechanical Characterisation of a MEMS Micromirror Device
Author:
Publisher
Wiley
Subject
Mechanical Engineering,Mechanics of Materials
Link
http://onlinelibrary.wiley.com/wol1/doi/10.1111/j.1475-1305.2008.00476.x/fullpdf
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1. Analysis of Impacts of the Design Parameters on the Working Frequency of the Compliant Devices;Advances in Service and Industrial Robotics;2022
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