座談会:田畑修先生を囲んで

Author:

Publisher

Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Mechanical Engineering

Reference12 articles.

1. (2) J. H. Huijsing et al.: “Monolithic integrated direction-sensitive flow sensor”, IEEE Trans. Electron Devices, Vol. 29, pp. 133-136 (1982)

2. (3) O. Tabata : “Fast-response silicon flow sensor with an on-chip fluid temperature sensing element”, IEEE Trans. Electron Devices, Vol. ED-33, pp. 361-365 (1986)

3. (4) K. E. Petersen : “Silicon as a mechanical material”, Proc. IEEE, Vol. 70, pp. 420-457 (1982)

4. (5) Y. Watanabe et al.: “Formation and properties of porous silicon and its applications”, J. Electrochem. Soc., Vol. 122, pp. 1351-1355 (1975)

5. (6) O. Tabata et al.: “Moving mask LIGA (M2LIGA) process for control of side wall inclination”, IEEE MEMS 1999, Orlando, FL, pp. 252-256 (1999)

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