Self-excited MEMS Oscillator using an Electrostatic Cantilever
Author:
Affiliation:
1. Institute of Space and Astronautical Science, The Japan Aerospace Exploration Agency
2. Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
Publisher
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Mechanical Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/143/4/143_55/_pdf
Reference25 articles.
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