Monitoring of Metallic-atom-density in Plasma Processes by Light Source for Absorption Spectroscopy using Micro Hollow Cathode Discharge
Author:
Affiliation:
1. Faculty of systems engineering, Wakayama University
2. Faculty of science and technology, Meijo University
Publisher
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
Subject
Electrical and Electronic Engineering
Link
http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/130/10/130_10_972/_pdf
Reference22 articles.
1. (1) 堀 勝.後藤俊夫:「高密度プラズマとエッチング.薄膜形成への応用」,応用物理, Vol. 68, p. 1252 (1999)
2. (2) 堀 勝:「スマートプロセス」,応用物理, Vol. 74, p. 1328 (2005)
3. Emission of excimer radiation from direct current, high-pressure hollow cathode discharges
4. High-pressure hollow cathode discharges
5. Hydrogen Lyman-alpha and Lyman-beta emissions from high-pressure microhollow cathode discharges in Ne-H2mixtures
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