Mechanical Properties of the Carbonaceous Films Formed by Focused Ion-beam-assisted Chemical Vapor Deposition-Reference-Cited by-同舟云学术

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Mechanical Properties of the Carbonaceous Films Formed by Focused Ion-beam-assisted Chemical Vapor Deposition

Published:2010 Issue:10 Volume:130 Page:949-954
ISSN:0385-4205
Container-title:IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
language:en
Short-container-title:IEEJ Trans. FM

Author:

Yanagisawa Junichi¹

Affiliation:

1. School of Engineering, The University of Shiga Prefecture

Publisher

Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

Subject

Electrical and Electronic Engineering

Link

http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/130/10/130_10_949/_pdf

Reference16 articles.

1. (1) 電気学会.プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会(編):プラズマイオンプロセスとその応用,オーム社 (2005)

2. (2) 市村博司.池永勝:プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用,日刊工業新聞社 (2005)

3. (3) 行村建.Wei Ronghua:「プラズマイオン注入.堆積法の新しい展開」,プラズマ.核融合学誌, Vol. 80, No. 4, pp. 281-288 (2004)

4. (4) S. Matsui, T. Kaito, J. Fujita, M. Komuro, K. Kanda, and Y. Haruyama : J. Vac. Sci. Tech. B, Vol. 18, p. 3181 (2000)

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