High Power Pulsed Sputtering Plasma Source

Author:

Azuma Kingo1

Affiliation:

1. University of Hyogo

Publisher

Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)

Subject

Electrical and Electronic Engineering

Reference42 articles.

1. (1) M. Faraday : “Experimental Relations of Gold (and Other Metals) to Light”, Philos. Trans. R. Soc. London, Vol. 147, pp. 145-181 (1857)

2. (2) J. M.トーマス:マイケル.ファラデー 天才科学者の軌跡,pp. 84-89,東京化学同人 (1994)

3. (3) 市村博司.池永 勝:プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用,pp. 100-105, 203-206,日刊工業新聞社 (2005)

4. (4) D. M. Mattox : “Film Deposition Using Accelerated Ions”, Electrochem. Technol., Vol. 2, pp. 295-299 (1964)

5. (5) D. M. Mattox : “Fundamentals of Ion Plating”, J. Vac. Sci. & Technol., Vol. 10, No. 1, pp. 47-52 (1973)

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