Study on Fabrication Process Parameter Estimation by Visual Measurement
Author:
Affiliation:
1. Hitachi, Ltd. Production Engineering Research Laboratory
Publisher
Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)
Subject
Electrical and Electronic Engineering
Link
http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/127/4/127_4_630/_pdf
Reference10 articles.
1. (1) International Technology Roadmap for Semiconductors 2005 Edition
2. (2) 高木裕治.中垣 亮.宍戸千絵.田中麻紀:「画像計測によるプロセス推定手法の検討」,第14回外観検査の自動化ワークショップ講演論文集,pp. 13-18 (2002)
3. Characterizing cross-sectional profile variations by using multiple parameters extracted from top-down SEM images
4. Dose and focus estimation using top-down SEM images
5. Contact hole characterization by SEM waveform analysis
1.学者识别学者识别
2.学术分析学术分析
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