Capas de SiGe policristalino hidrogenado y su aplicación en transistores de película delgada
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Published:2004-04-30
Issue:2
Volume:43
Page:386-389
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ISSN:2173-0431
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Container-title:Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio
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language:
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Short-container-title:Bol. Soc. Esp. Ceram. Vidr.
Author:
Rodríguez A.,Rodríguez T.,Sangrador J.,San Andrés E.,Mártil I.
Subject
Industrial and Manufacturing Engineering,Mechanics of Materials,Ceramics and Composites