Комплексные исследования качества компонентов, присутствующих в технологии синтеза моносилана, с помощью аналитических приборов

Abstract

Проведены комплексные качественные и количественные исследования исходного продукта, этанола, применяемого в технологическом процессе, конечным продуктом которого является моносилан, используемый в дальнейшем для получения нанокристаллического кремния термическим и ионно-плазменным разложением моносилана. Представлены используемые методики и приведены результаты, полученные в комплексных исследованиях с использованием методов хромато-масс-спектрометрии, спектрометрии комбинационного рассеяния и инфракрасной спектрометрии. Продемонстрирована возможность осуществления количественного и качественного анализа образцов этанола методами спектрометрии комбинационного рассеяния (КР) и инфракрасной спектрометрии (ИК), путем исследования интегральных интенсивностей спектральных полос С-Н в спектрах КР и ИК спектрах в диапазоне 2650−3050 см−1 , отвечающих за присутствие этанола, а также спектральных полос гидроксильных групп О-Н в диапазоне 3000−3700 см−1 , отвечающих за присутствие воды в исследуемых образцах.