S-matrix propagation algorithm in modal method by Fourier expansion for rigorous simulation of multi-layered grating structures: development and applications
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Publisher
OSA
Reference17 articles.
1. Rigorous diffraction theory for transmission phase gratings with deep rectangular grooves
2. Rigorous coupled-wave analysis of planar-grating diffraction
3. Solving slab lamellar grating problems by the singular-value-decomposition method
4. Analysis of dielectric gratings of arbitrary profiles and thicknesses
5. Multilayer modal method for diffraction gratings of arbitrary profile, depth, and permittivity
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