Author:
Kozhevnikov I.V.,Yakshin A.E.,Bijkerk F.
Funder
Controlling photon and plasma induced processes at EUV optical surfaces (CP3E)
Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM)
Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO)
CP3E programme
Carl Zeiss SMT
ASML
Province of Overijssel (XUV Optics project)
Subject
Atomic and Molecular Physics, and Optics
Cited by
24 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献