Study of oxidation process of Cr/Cu/Cr thin film electrodes

Author:

Yuan Junlin,Weng Weixiang,Tailiang Guo Zhilong Lin

Publisher

Elsevier BV

Subject

Condensed Matter Physics,General Materials Science,General Chemistry

Reference18 articles.

1. Cr–Cu and Cr–Cu–Cr Thin film metallization;O’Neill;J. Vac. Sci. Technol.,1973

2. Study and development of field emission display;Lin;Optoelectron. Technol.,2006

3. Optimization of sputtered Cr/Au thin film for diaphragm-based MEMS applications;Tan;Thin Solid Films,2009

4. Low resistance Ti/Pt/Au ohmic contacts to p-type GaN;Zhou;Appl. Phys. Lett.,2000

5. Thin-film interdiffusion. I. Au–Pd, Pd–Au, Ti–Pd, Ti–Au, Ti–Pd–Au, and Ti–Au–Pd;Poate;J. Appl. Phys.,1975

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