Efficient fracturing of all angle shaped VLSI mask pattern data-Reference-Cited by-同舟云学术

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Efficient fracturing of all angle shaped VLSI mask pattern data

Published:1991-01 Issue:2 Volume:10 Page:143-154
ISSN:0167-9260
Container-title:Integration
language:en
Short-container-title:Integration

Author:

Pelz Georg,Meyer zu Bexten Volker

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Hardware and Architecture,Software

Reference20 articles.

1. An algorithm for polygon conversion to boxes for VLSI layouts;Al-Khalili;Integration, the VLSI Journal,1988

2. Technique to fill a polygon with rectangles;Appel;IBM Tech. Disc. Bull.,1977

3. Technique to fill a complex polygon with rectangles;Appel;IBM Tech. Disc. Bull.,1977

4. Computational geometry algorithms;Asano,1986

5. Patterngenerator mit Excimer-Laser (in german);Böttinger;VDI Berichte,1986

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