Halogen Transport Vapor Phase Epitaxy of III–V Materials

Author:

Usui A.,Koukitu A.,Kumagai Y.,Hasegawa F.

Publisher

Elsevier

Reference50 articles.

1. High purity GaAs growth by the hydride VPE reactor;Abrokwah;J. Electron. Mater.,1983

2. Condition for VPE growth of AlXGa1-XAs alloys in inorganic transport systems;Bachem;J. Cryst. Growth,1981

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4. Vapor growth of epitaxial GaAs: A summary of parameters which influence the purity and morphology of epitaxial layers;DiLorenzo;J. Cryst. Growth,1972

5. Fairman, R.D., Omori, M., Fank, F.B., 1977. Recent progress in the control of high-purity VPE InP by PCl3/In/H2 technique. Inst. Phys. Conf. Ser. 33b, 45–54.

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