Electron Beam Lithography of Nanostructures

Author:

Tennant D.M.,Bleier A.R.

Publisher

Elsevier

Reference74 articles.

1. Positioning single atoms with a scanning tunnelling microscope;Eigler;Nature,1990

2. Nanotechnology,1999

3. Feynman R (1959) There’s plenty of room at the bottom. Speech Delivered on December 29th 1959 at the Annual Meeting of the American Physical Society. http://www.zyvex.com/nanotech/feynman.html (accessed June 2009).

4. High resolution patterning system with a single bore objective lens;Newman;Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures,1987

5. Ourmazd A (1988) Private Communication.

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