Nanoscale interface techniques for standardized integration
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Publisher
Elsevier
Reference38 articles.
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2. Wafer-level vacuum packaging of smart sensors;Hilton;Sensors,2016
3. The IoT for smart sustainable cities of the future: an analytical framework for sensor-based big data applications for environmental sustainability;Bibri;Sustain. Cities Soc.,2018
4. Nanosensors and MEMS: connecting the nanoscale with the macro world with microscale technology;Bogue;Sens. Rev.,2016
5. Technologies for cofabricating MEMS and electronics;Fedder;Proc. IEEE,2008
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