1. Hot pulling and embossing of hierarchical nano- and micro-structures;Röhrig;Journal of Micromechanics and Microengineering,2013
2. Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern;Michel,1993
3. Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf Siliziumwafern;Müller,1999
4. Großformatige Abformung mikrostrukturierter Formeinsätze durch Heissprägen;Mehne,2007
5. Hot punching on an 8 inch substrate as an alternative technology to produce holes on a large scale;Rapp;Microsystem Technologies,2010