Plasmas and Plasma Enhanced CVD

Author:

Mattox Donald M.

Publisher

Elsevier

Reference227 articles.

1. Glow Discharge Processes: Sputtering and Etching;Chapman,1980

2. An overview of plasma processes, Ch. 13;Walton,2007

3. Oscillations in ionized gases;Langmuir;Proc. Natl. Acad. Sci.,1928

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Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

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