Tool-based micro-machining

Author:

Asad A.B.M.A.,Masaki Takeshi,Rahman M.,Lim H.S.,Wong Y.S.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Industrial and Manufacturing Engineering,Metals and Alloys,Computer Science Applications,Modeling and Simulation,Ceramics and Composites

Reference10 articles.

1. Micromachining with SR and FEL;Okuyama;Nuclear Instrum. Methods Phys. Res. B,1998

2. Three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition;Matsui;J. Japan Soc. Precis. Eng.,2001

3. Micro cutting in the micro lathe turning system;Lu;J. Mach. Tools Manuf.,1999

4. T. Sato, T. Mizutani, K. Kawata, Electro-discharge machine for micro-hole drilling, National Technical Reports, 31, 1985, pp. 725–733.

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