Mobility enhancement of 2DEG in MOVPE-grown AlGaN/AlN/GaN HEMT structure using vicinal (0 0 0 1) sapphire

Author:

Hu Weiguo,Ma Bei,Li Dabing,Narukawa Mitsuhisa,Miyake Hideto,Hiramatsu Kazumasa

Publisher

Elsevier BV

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,General Materials Science

Reference16 articles.

1. GaN microwave electronics

2. Microwave AlGaN/GaN HFETs

3. H. Ishida, Y. Hirose, T. Murata, A. Kanda, Y. Ikeda, T. Matsuno, et al., Tech. digest, in: The IEEE International Electron Devices Meeting, IEDM, 2003, p. 583

4. Reduction of threading defects in GaN grown on vicinal SiC(0001) by molecular-beam epitaxy

5. Reduction of the threading dislocation density in GaN films grown on vicinal sapphire (0001) substrates

Cited by 15 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

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