Thermoanalytic studies of the pyrolysis of CpTiCl2N(SiMe3)2 and its use as a precursor for the chemical vapor deposition of titanium carbonitride
Author:
Publisher
Elsevier BV
Subject
Analytical Chemistry,Fuel Technology
Reference35 articles.
1. Transition Metal Carbides and Nitrides;Toth,1971
2. Chemical vapor deposition of titanium nitride at low temperatures
3. Preparation of Ultra-High-Purity Submicron Refractory Oxides
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