Laser Fabrication of Silica Gratings by Ablation and Modification of Silicone Films

Author:

Dittrich A.,Fricke-Begemann T.,Ihlemann J.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference13 articles.

1. Laser photoablation of spin-on-glass;Hogan;Appl. Phys. Lett.,1988

2. Ultraviolet induced transformation of polysiloxane films.J;Joubert;Appl. Phys.,1991

3. Incubation and ablation behavior of poly(dimethylsiloxane) for 266 nm irradiation;Graubner;Appl. Surf. Sci.,2002

4. Local chemical transformations in poly(dimethylsiloxane) by irradiation with 248 and 266 nm;Graubner;Appl. Surf. Sci.,2006

5. UV laser-induced grating formation in PDMS thin films.Appl;Rubahn;Phys. A,2004

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