Development and Characterization of a Piezoelectrically Actuated MEMS Digital Loudspeaker

Author:

Dejaeger R.,Casset F.,Desloges B.,Le Rhun G.,Robert P.,Fanget S.,Leclère Q.,Ege K.,Guyader J.-L.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Applied Mathematics

Reference6 articles.

1. B M. Diamond, J.J. Neumann Jr. and K. J. Gabriel. Digital Sound Reconstruction Using Arrays of CMOS-MEMS Microspeaker, MEMS 2002, p. 292-295.

2. Y. Cohen, D. Lewin, S. Kaplan, A. Sromin, M. Ben Simon. Improved speaker apparatus and methods useful in conjonction therewith, Patent WO200966290A2; 2009.

3. J. Abergel, M. Cueff, H. Michaud, M. Allain, T. Ricart, C. Dieppedale et al. Direct And Indirect Piezoelectric Characterization of PZT Thin Films for MEMS Applications, 2nd International Workshop on Piezoelectric MEMS; 2011.

4. T Bakke, A. Vogl, O. Zero, F. Tyholdt, I. Johansen and D. Wang. A novel ultra-planar, long-stroke and low-voltage piezoelectric micromirror, J. Micromech. Microeng.; 2010, p. 1-7.

5. W.C. Young and R.G. Budynas. Roark's Formulas for Stress and Strain 7th edn (New York: McGraw-Hill); 2002.

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