Selective dry etching of silicon with heat-mode resist GeSb for the preparation of metasurfaces
Author:
Publisher
Elsevier BV
Reference42 articles.
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3. Reprogrammable meta-hologram for optical encryption;Qu;Nat. Commun.,2020
4. Broadband high-efficiency chiral splitters and holograms from dielectric nanoarc metasurfaces;Wang;Small,2019
5. Full-color hologram using spatial multiplexing of dielectric metasurface;Zhao;Opt. Lett.,2016
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