1. VLSI Technology;Sze,1988
2. Dünnschichttechnologie;Frey,1987
3. Plasmatechnik;Schade,1990
4. Analyse und Optimierung einer Niederdruckgasentladung zur Behandlung dreidimensionaler Bauteile bei Überlagerung verschiedener Anregungsfrequenzen;Mittasch,1992