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POLYMER MATERIALS FOR MICROELECTRONICS IMAGING APPLICATIONS

  • Published:2000 Issue: Volume: Page:635-657
  • ISSN:
  • Container-title:Applied Polymer Science: 21st Century
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

REICHMANIS E.,NALAMASU O.

Publisher

Elsevier

Reference123 articles.

1. The Transistor, a Semi-Conductor Triode;Bardeen;Phys. Rev.,1948

2. Introduction to Microlithography;Thompson,1994

3. Quarter Micron Lithography.

4. Introduction to Microlithography;Thompson,1983

5. Polymer materials for microlithography
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